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布魯克斯 Brooks 智能低溫泵系統(tǒng)
更新時間：2016-05-16 點擊次數(shù)：1829次
ON-BOARD® IS CRYOPUMP SYSTEMS
新型智能低溫泵系統(tǒng)
領(lǐng)導(dǎo)的低溫真空技術(shù)，On-Board IS低溫泵系統(tǒng)利用布魯克斯的新型低溫真空技術(shù)，提供的真空性能和抽氣效率。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1. 專門為離子植入制程所設(shè)計的新一代智能型低溫泵系統(tǒng)。
2. 的分布式監(jiān)控系統(tǒng)及個別調(diào)整低溫泵功能，以維持系統(tǒng)*的真空效能，提供制程所需的的一致性。
3. 快速再生系統(tǒng)和可同時控制多組低溫泵。
4. 節(jié)能設(shè)計,不需消耗太多能源和冷卻水－仍可以提供*的真空性能。
5. 安裝容易，使用方便。
6. 加強(qiáng)型GOLDLink軟件提供遠(yuǎn)程監(jiān)測預(yù)防和預(yù)測性維護(hù)。
7. 只要付出zui少的成本即可擁有zui高正常運行時間，zui高的生產(chǎn)率，zui低的整低溫泵系統(tǒng)。
8. Helix服務(wù)和支持。
